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三維多光束并行加工模塊
產(chǎn)品介紹
本模塊應(yīng)用在超快激光加工系統(tǒng)中，可將超快激光器輸出的單光束分成多光束，實(shí)現(xiàn)三維多光束并行加工。本模塊內(nèi)置擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的算法軟件，可實(shí)時(shí)更改多個(gè)光束在三維空間的位置、數(shù)量、能量等各項(xiàng)參數(shù)，具備多光束能量的測(cè)量、反饋與顯示功能，具備相差校正和偏振控制功能，通過(guò)算法和硬件的優(yōu)化，多光束能量均一性可達(dá)90%。
產(chǎn)品特點(diǎn)
通過(guò)多光束并行加工，成倍提高超快激光加工效率，有效解決高能量超快激光器能量利用率低、加工效率低等痛點(diǎn)；
可用于探索超快激光在微納加工過(guò)程中出現(xiàn)的各種新現(xiàn)象。例如：不同光斑排布對(duì)等離子體屏蔽效應(yīng)的影響、偏振控制對(duì)加工效果的影響、多光束對(duì)材料內(nèi)部應(yīng)力場(chǎng)分布的影響等。
相關(guān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)如下:
202010825888.8，202010825882.0
可用于探索超快激光在微納加工過(guò)程中出現(xiàn)的各種新現(xiàn)象。例如：不同光斑排布對(duì)等離子體屏蔽效應(yīng)的影響、偏振控制對(duì)加工效果的影響、多光束對(duì)材料內(nèi)部應(yīng)力場(chǎng)分布的影響等。
相關(guān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)如下:
202010825888.8，202010825882.0
系統(tǒng)參數(shù)
| 輸出光束數(shù)量 | 可達(dá)100束，動(dòng)態(tài)可調(diào) |
| 分光能量利用率 | 70%-90% |
| 能量一致性 | 90%@25束光 |
| 承受最大單脈沖能量 | 30mJ@IR |
| 適用波長(zhǎng)范圍 | IR：1000-1100nm/GRN：460-560nm |
設(shè)備案例：
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