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全自動(dòng)濾光片激光切割設(shè)備
產(chǎn)品介紹
本產(chǎn)品是利用紅外波段或可見(jiàn)光的激光，對(duì)鍍膜玻璃（濾光片），薄玻璃等透明材料進(jìn)行全自動(dòng)直線切割，適用于各種濾光片的切割。
產(chǎn)品特點(diǎn)
適用于940mm濾光片、白玻璃、藍(lán)玻璃等；
適用于裸片和帶有絲印的的濾光片及玻璃晶圓的直線切割；
一鍵操作，全自動(dòng)上下料、切割；
視覺(jué)自動(dòng)識(shí)別樣品數(shù)量、位置，樣品自動(dòng)找正；
切深自動(dòng)跟隨系統(tǒng)，精度0.2um;
相關(guān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)如下:202010825888.8，202010825882.0，201710025672.1，202110578725.9
適用于裸片和帶有絲印的的濾光片及玻璃晶圓的直線切割；
一鍵操作，全自動(dòng)上下料、切割；
視覺(jué)自動(dòng)識(shí)別樣品數(shù)量、位置，樣品自動(dòng)找正；
切深自動(dòng)跟隨系統(tǒng)，精度0.2um;
相關(guān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)如下:202010825888.8，202010825882.0，201710025672.1，202110578725.9
系統(tǒng)參數(shù)
| 激光器 | 紅外ps/綠光ps |
| 加工尺寸 | ≤200*200mm（可用于8寸玻璃晶圓） |
| 最大切割厚度 | ≤1.2mm |
| 切割軸速度 | 0-800mm/s |
| 切割崩邊 | ＜20μm |
| 切割截面微裂紋 | ＜10μm |
| 光束數(shù)量 | ≤2 |
| 光束整形 | 動(dòng)態(tài)整形 |
| 切割良率 | ＞98% |
切割效果：
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